Страница 5 из 9
Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов
Добавлено: 20 май 2017, 21:32
aftaev
CybSys писал(а):Мне бы добиться 100Па под колпаком
Наш китайский форнасос 2х ступенчатый откачивает до 15Па (так выглядит
http://suryaera.com/tools-peralatan-pen ... ump-vh115n)
CybSys писал(а):но пока померить не чем... думаю скоро и этим вопросом займусь
http://directlot.ru/lot.php?id=12042 
Или можно что нибудь на евау за недорого подыскать, себе подобрали за 26 баксов
Re: Что я урвал, хвастаемся покупками, завидуем и облизываем #3902 
Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов
Добавлено: 20 май 2017, 23:50
CybSys
У меня похожий насос, вот только рабочий объем маловат...
По установки все готово устраняю мелкие течи, но не знаю где они (((
Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов
Добавлено: 21 май 2017, 07:41
Q-starь
CybSys писал(а):
Чья плазма бывает и что она делает в магнетронном напылении?
Вам в магнетроне как минимум аргоновая нужна, но я так в толк и не возьму чо хотите распылять?
Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов
Добавлено: 21 май 2017, 09:08
CybSys
Теперь понятно что вы имели ввиду. Аргоном пока продувать не чего не буду. Буду пробовать пока с плазмой воздуха точнее с плазмой остаточных газов.
Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов
Добавлено: 21 май 2017, 09:10
CybSys
Распылять хочу медь, но в качестве мишени пока аминий, так как не нашел куска меди
Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов
Добавлено: 21 май 2017, 09:33
aftaev
CybSys писал(а):но в качестве мишени пока аминий
Это новый элемент? Подключил к нему ток, аминь и его нет = аминий

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов
Добавлено: 21 май 2017, 10:57
Q-starь
CybSys писал(а):Распылять хочу медь, но в качестве мишени пока аминий, так как не нашел куска меди
Люминь не особо хороший выбор, у него всегда окись на поверхности, поэтому старт всегда пляски с бубном. Возьмите нержу не магнитную - всё проще.
Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов
Добавлено: 21 май 2017, 16:51
CybSys
Про оксид алюминия знаю - по этому и хочу заменить на медь
Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов
Добавлено: 22 май 2017, 14:03
CybSys
Включение, испытание, течи:
[youtube]
https://youtu.be/izCBximuM2M[/youtube]
Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов
Добавлено: 23 май 2017, 15:05
Q-starь
Чёта у вас там вместо плазмы дуга шарашит - не гуд, будет эрозия - деталька на выброс. Не увидел поиск течи, и как её будете без вакуумметра искать?
Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов
Добавлено: 23 май 2017, 16:18
CybSys
Залил мыльным раствором немного, и все стало ясно
Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов
Добавлено: 23 май 2017, 16:20
aftaev
Q-starь, почему в течеискателях используется гелий

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов
Добавлено: 23 май 2017, 16:32
Serg
Гелий - одноатомный газ (молекула состоит из одного атома), поэтому он просочится туда, куда не пролезут молекулы других газов (например молекулы водорода, кислорода состоят из двух атомов).
Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов
Добавлено: 24 май 2017, 07:47
Q-starь
Ну примерно так - он самый маленький и самый безопастный. Кислородом обдувать масляную систему не кошерно, водородом о подавно. Азотом? Смысл, его в остаточной атмосфере под 80%.
Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов
Добавлено: 24 май 2017, 08:34
aftaev
Q-starь, зачем гелевому течеискателю нужен вакуум?
Так понимаю на видео под кожухом стоит вакуумный насос. Или эта штука нужно только для определения кол-во утечки(натекания), но не поиска в каком месте есть течь?
https://www.youtube.com/watch?v=d_Ty2s1LCEY
Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов
Добавлено: 24 май 2017, 08:56
Q-starь
У течеискателя конечно же есть своя вак система, а иначе как гелий попадёт на датчик. Течеискатель подключается к проверяемой камере, она откачивается ( хоть собственными насосами, хоть ТИ, а чаще и тем и другим ) Потом камера обдувается гелием и смотрится по датчикам где дыра, они очень быстро реагируют. Можно датчики ставить в магистраль откачки камеры, тогда насосы течеискателя не нужны, но точность ниже
Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов
Добавлено: 24 май 2017, 10:13
aftaev
Не есть понимать

Камеру вакуумируем, запускаем гелий. В камере какое давление получаем? Датчики на гелий где стоят внутри или снаружи?
Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов
Добавлено: 24 май 2017, 10:58
Q-starь
aftaev писал(а):Не есть понимать

Камеру вакуумируем, запускаем гелий. В камере какое давление получаем? Датчики на гелий где стоят внутри или снаружи?
Куда запускаем!

Камеру снаружи поливаем гелием, не целиком а подозрительные места обдуваем легонько из шланчика. Датчик умнутри течеискателя. Если датчик в магистраль мастырить его от туда изьять надо, а есть переносные.
Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов
Добавлено: 24 май 2017, 11:10
Serg
Если я за 30 лет ничего не забыл, то с помощью гелия определяется размер дырки по скорости натекания гелия. А место дырки определяется высоковольтным разрядом
Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов
Добавлено: 24 май 2017, 11:43
Q-starь
UAVpilot писал(а): А место дырки определяется высоковольтным разрядом
Если я за 30 лет ничего не забыл то Тесла это немного другой метод.