Страница 4 из 9

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Добавлено: 06 май 2017, 09:14
aftaev
Q-starь писал(а):Это для каких-таких целей?
Вы этим не баловались Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов #16
Азот должен постоянно через камеру прокачиваться и поддерживаться нужное давление.
Q-starь писал(а):Для такой кастрюли 5-ти литрового насоса достаточно,
У нас диаметр что то 500 и высота около 800, там явно не 5 литров ;)

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Добавлено: 06 май 2017, 12:20
Q-starь
aftaev писал(а):
Q-starь писал(а):Это для каких-таких целей?
Вы этим не баловались Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов #16
Азот должен постоянно через камеру прокачиваться и поддерживаться нужное давление.
Q-starь писал(а):Для такой кастрюли 5-ти литрового насоса достаточно,
У нас диаметр что то 500 и высота около 800, там явно не 5 литров ;)
Эээээээээ, 5 литров это в секунду. Для магнетрона тоже продувка аргоном желательна, и стабильная цифра, правда вакуум повыше.
Камера у вас литров 160. В моей было больше куба, стоял 20-ти литровый - за глаза.

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Добавлено: 06 май 2017, 19:31
aftaev
Q-starь писал(а):Эээээээээ, 5 литров это в секунду.
Ну так если сленгами писать, то все и все поймут ;)

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Добавлено: 07 май 2017, 15:23
Q-starь
aftaev писал(а):
Q-starь писал(а):Эээээээээ, 5 литров это в секунду.
Ну так если сленгами писать, то все и все поймут ;)
Прошу пардона, впредь буду проще, но у вакуумщиков все насосы литрами в секунду меряются, любого типа.

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Добавлено: 11 май 2017, 23:16
CybSys
Приборная панель пока будет выглядеть так:
IMG_3743[1].JPG (2908 просмотров) <a class='original' href='./download/file.php?id=111216&mode=view' target=_blank>Загрузить оригинал (962.44 КБ)</a>
IMG_3744[1].JPG (2908 просмотров) <a class='original' href='./download/file.php?id=111217&mode=view' target=_blank>Загрузить оригинал (1014.26 КБ)</a>
А вот с мишенью какая то фигня... Не могу найти кусочек меди 80х80х3+-1

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Добавлено: 12 май 2017, 11:59
CybSys
Почти все детали в наличие, остается все связать воедино

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Добавлено: 12 май 2017, 13:01
Q-starь
CybSys писал(а):Почти все детали в наличие, остается все связать воедино
Та круглый стрелка которая справа ваще ни к чему, а слева чо будет мерить?

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Добавлено: 12 май 2017, 13:56
CybSys
манометр подключать не буду, вставил для красоты - отверстие закрыть.
а квадратный приборчик - это миллиамперметр

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Добавлено: 12 май 2017, 14:48
Q-starь
CybSys писал(а):манометр подключать не буду, вставил для красоты - отверстие закрыть.
а квадратный приборчик - это миллиамперметр
Ток чего он будет мерить?

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Добавлено: 12 май 2017, 15:02
CybSys
ток плазмы под колпаком, вот только предел измерений маловат...

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Добавлено: 13 май 2017, 07:02
Q-starь
CybSys писал(а):ток плазмы под колпаком, вот только предел измерений маловат...
Рабочий ток магнетрона имеется в виду? Всегда думал шо приборчик на БП присуцтвует и надо бы шоб цыфравой. И какой БП планируецца? Там требований хватает: стабилизация по току или по мощности смотря какие задачи по плёнке.

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Добавлено: 19 май 2017, 13:55
CybSys
Q-starь писал(а):
CybSys писал(а):ток плазмы под колпаком, вот только предел измерений маловат...
Рабочий ток магнетрона имеется в виду? Всегда думал шо приборчик на БП присуцтвует и надо бы шоб цыфравой. И какой БП планируецца? Там требований хватает: стабилизация по току или по мощности смотря какие задачи по плёнке.
Нет, именно ток плазмы.
А блок питания будет вот такой:

https://www.youtube.com/watch?v=Iz3DtDjxbSM

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Добавлено: 19 май 2017, 14:26
aftaev
А мы сделали проще, купили еще одну установку. С БП, магнетроном, ионным источником :)
01.jpg (2797 просмотров) <a class='original' href='./download/file.php?id=111946&mode=view' target=_blank>Загрузить оригинал (149.62 КБ)</a>
02.jpg (2797 просмотров) <a class='original' href='./download/file.php?id=111947&mode=view' target=_blank>Загрузить оригинал (136 КБ)</a>

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Добавлено: 19 май 2017, 21:34
CybSys
Вы в этом плане правильно поступили, я же в ходе своих научных изысканий занимаюсь/лся высоковольтными источниками питания разряда и вообще низкотемпературными плазменными установками... а для плазмы низкого давления сильно высокое напряжение не нужно...

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Добавлено: 20 май 2017, 11:14
Q-starь
Для магнетрона надо около киловольта и стабилизированный регулируемый по току, либо по мощности исходя из задачи, а плазмой чо делать собираетесь? И чья она будет?

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Добавлено: 20 май 2017, 16:30
donvictorio
нубский вопрос: как защитить стёклышко на окошке?
или его постоянно менять надо?

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Добавлено: 20 май 2017, 18:11
aftaev
donvictorio писал(а):как защитить стёклышко на окошке?
от чего?

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Добавлено: 20 май 2017, 19:06
donvictorio
там же на него попадают частички металла и оно становится непрозрачным? или они как-то хреначат как фонарик и по сторонам не расходятся?

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Добавлено: 20 май 2017, 19:26
aftaev
donvictorio писал(а):там же на него попадают частички металла и оно становится непрозрачным?
Это ты про окошки в нашей установке? Я думал тебе на окошки дома нужно защитить что то :)
donvictorio писал(а):или они как-то хреначат как фонарик и по сторонам не расходятся?
Стекла загаживаются Снимаются и протираются. Брат их чем то отмыл, он у нас главный повелитель химии. Мож в кислоту кинул и металл растворился :)

Мы свою установку вакуумировали, на форнасосе до 26Па дошли. Выключили, через час натекло до 300Па. Через пару дней оторвать купол нельзя было - был вакуум.

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Добавлено: 20 май 2017, 20:54
CybSys
Q-starь писал(а):Для магнетрона надо около киловольта и стабилизированный регулируемый по току, либо по мощности исходя из задачи, а плазмой чо делать собираетесь? И чья она будет?
Отвечу так:
Чья плазма бывает и что она делает в магнетронном напылении?

Мне бы добиться 100Па под колпаком, но пока померить не чем... думаю скоро и этим вопросом займусь :)