Установка магнетронного напыления пленок металлов
- CybSys
- Почётный участник
- Сообщения: 480
- Зарегистрирован: 07 июн 2013, 10:02
- Репутация: 121
- Откуда: Иваново
- Контактная информация:
Установка магнетронного напыления пленок металлов
Здравствуйте беспокойные умы. Сегодня речь пойдет об установке магнетронного напыления, полностью спроектированной и изготовленной своими руками.
Надеюсь что данная установка подходит под тематику раздела.
https://www.youtube.com/watch?v=nnrAA2lZFVY
Для начала я вкратце постараюсь ответить, для чего нужны подобные установки и что же такое, ионно-плазменное распыление.
Мишень - это тот материал, который распыляется.
Подложка - это, то на что происходит напыление.
Установки такого рода позволяют формировать на подложках тончайшие слои токопроводящих материалов (в основном металлов). В качестве подложек может использоваться как токопроводящий, так и диэлектрический материал. А для того чтобы сформировался нанослой, например какого либо металла на подложке, требуется сначала хорошенько атаковать металл плазма-образующими ионами, для этого используют зажжение плазмы тлеющего разряда при пониженном давлении и магнетрон в качестве ловушки для электронов.
https://www.youtube.com/watch?v=Q_h8Jw6pS2Y
Давайте рассмотрим простейшую схему магнетрона и его работу, и вы поймете, почему он является ловушкой (постараюсь без особой научности, но думаю, что многие будут против, так как некоторые моменты без этого не объяснить, но я постараюсь).
Классический тлеющий разряд загорается при постоянном токе, и ток течет от анода к катоду. Катодом является плоская мишень, под которой находится кольцевой магнит. Электроны летящие от катода, ионизируют газ в объеме, ионы которого попадают в мишень, из нее выбивают атомы которые вновь сталкиваются с электронами, тем самым их часть ионизируется… В общем образуется электронная лавина, которая закручивается магнитным полем и не дает им после столкновений улететь, тем самым магнит удерживает электроны и при этом увеличивается образование атомов, которые осаждаются на подложке, тем самым формируя пленку.
А теперь от теории к практики. Так как я занимаюсь различными плазмохимическими технологиями при атмосферном давлении, то через какое-то время возник интерес и к пониженному давлению. Источник питания тлеющего разряда у меня уже имелся в наличии, его я сделал давно. И после покупки вакуумного насоса, начались эксперименты, которые выявили некоторые трудности при работе с пониженным давлением.
https://www.youtube.com/watch?v=v_3SfknsmJc
Подводя итоги этой части статьи, можно сказать, что работа движется, получается немалый опыт и дополнительные знания. На данный момент, готов корпус в железе, он будет покрашен, после чего начнется сборка.
Кому интересно, подписываемся на канал и следим за постройкой установки.
Надеюсь что данная установка подходит под тематику раздела.
https://www.youtube.com/watch?v=nnrAA2lZFVY
Для начала я вкратце постараюсь ответить, для чего нужны подобные установки и что же такое, ионно-плазменное распыление.
Мишень - это тот материал, который распыляется.
Подложка - это, то на что происходит напыление.
Установки такого рода позволяют формировать на подложках тончайшие слои токопроводящих материалов (в основном металлов). В качестве подложек может использоваться как токопроводящий, так и диэлектрический материал. А для того чтобы сформировался нанослой, например какого либо металла на подложке, требуется сначала хорошенько атаковать металл плазма-образующими ионами, для этого используют зажжение плазмы тлеющего разряда при пониженном давлении и магнетрон в качестве ловушки для электронов.
https://www.youtube.com/watch?v=Q_h8Jw6pS2Y
Давайте рассмотрим простейшую схему магнетрона и его работу, и вы поймете, почему он является ловушкой (постараюсь без особой научности, но думаю, что многие будут против, так как некоторые моменты без этого не объяснить, но я постараюсь).
Классический тлеющий разряд загорается при постоянном токе, и ток течет от анода к катоду. Катодом является плоская мишень, под которой находится кольцевой магнит. Электроны летящие от катода, ионизируют газ в объеме, ионы которого попадают в мишень, из нее выбивают атомы которые вновь сталкиваются с электронами, тем самым их часть ионизируется… В общем образуется электронная лавина, которая закручивается магнитным полем и не дает им после столкновений улететь, тем самым магнит удерживает электроны и при этом увеличивается образование атомов, которые осаждаются на подложке, тем самым формируя пленку.
А теперь от теории к практики. Так как я занимаюсь различными плазмохимическими технологиями при атмосферном давлении, то через какое-то время возник интерес и к пониженному давлению. Источник питания тлеющего разряда у меня уже имелся в наличии, его я сделал давно. И после покупки вакуумного насоса, начались эксперименты, которые выявили некоторые трудности при работе с пониженным давлением.
https://www.youtube.com/watch?v=v_3SfknsmJc
Подводя итоги этой части статьи, можно сказать, что работа движется, получается немалый опыт и дополнительные знания. На данный момент, готов корпус в железе, он будет покрашен, после чего начнется сборка.
Кому интересно, подписываемся на канал и следим за постройкой установки.
Последний раз редактировалось CybSys 23 мар 2017, 01:14, всего редактировалось 1 раз.
Мой канал: https://www.youtube.com/c/CybernetSystems
Мой ВК: https://vk.com/cybsys
Мой instagram: https://instagram.com/cybsystems?utm_medium=copy_link
Мой сайт: https://www.ivdetal.ru
Мой ВК: https://vk.com/cybsys
Мой instagram: https://instagram.com/cybsystems?utm_medium=copy_link
Мой сайт: https://www.ivdetal.ru
- CybSys
- Почётный участник
- Сообщения: 480
- Зарегистрирован: 07 июн 2013, 10:02
- Репутация: 121
- Откуда: Иваново
- Контактная информация:
Re: [Тип станка] по [материал] [рабочее поле]
Мой канал: https://www.youtube.com/c/CybernetSystems
Мой ВК: https://vk.com/cybsys
Мой instagram: https://instagram.com/cybsystems?utm_medium=copy_link
Мой сайт: https://www.ivdetal.ru
Мой ВК: https://vk.com/cybsys
Мой instagram: https://instagram.com/cybsystems?utm_medium=copy_link
Мой сайт: https://www.ivdetal.ru
- tooshka
- Почётный участник
- Сообщения: 1803
- Зарегистрирован: 24 окт 2012, 14:26
- Репутация: 209
- Настоящее имя: Андрей
- Откуда: Нижний Новгород
- Контактная информация:
Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов
Интересно, а как форма электродов влияет на плазму? Может кольцо? Или кольцо с иголками обращенными в центр?
Милая, ты услышь меня
под окном стою со своим я ЧПУ! (Протяжно; с надрывом; форте)
Внимание!!! Чрезмерное увлечение ЧПУ приводит к проблемам в семейных отношениях!
под окном стою со своим я ЧПУ! (Протяжно; с надрывом; форте)
Внимание!!! Чрезмерное увлечение ЧПУ приводит к проблемам в семейных отношениях!
- N1X
- Мастер
- Сообщения: 3653
- Зарегистрирован: 16 фев 2015, 21:19
- Репутация: 1645
- Настоящее имя: Владимир
- Откуда: Беларусь, Гомель
- Контактная информация:
Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов
Интересная тема кстати
А на колпаке пленка не оседает?
А на колпаке пленка не оседает?
-
- Зачётный участник
- Сообщения: 34042
- Зарегистрирован: 04 апр 2010, 19:22
- Репутация: 6192
- Откуда: Казахстан.
- Контактная информация:
Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов
CybSys, небольшой совет: На стеклянный купол одень сетку. Как на видео. Когда стекло устанет от опытов, лопнет и разлетится.
https://www.youtube.com/watch?v=Z0j8LgP4etY
на видео видно что будет со стекломN1X писал(а):А на колпаке пленка не оседает?
https://www.youtube.com/watch?v=Z0j8LgP4etY
Дилетанту сложные вещи кажутся очень простыми, и только профессионал понимает насколько сложна самая простая вещь
Кто хочет - ищет возможности, кто не хочет - ищет оправдание.
Найди работу по душе и тебе не придется работать.
Кто хочет - ищет возможности, кто не хочет - ищет оправдание.
Найди работу по душе и тебе не придется работать.
-
- Зачётный участник
- Сообщения: 34042
- Зарегистрирован: 04 апр 2010, 19:22
- Репутация: 6192
- Откуда: Казахстан.
- Контактная информация:
Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов
Трудность будет в том что нужен нормальный вакуум и его чем то мерить. Судя по видео используется одноступенчатый форвакуумный насос. А для чтобы напылять больше спектр металлов, например Ал нужен вакуум глубже. А для этого нужны несколько ступеней насосов. Форвакуумный+турбомолекулярный Re: Что я урвал, хвастаемся покупками, завидуем и облизываем #3755. Или форвакуумный + дифузионник(паромаслянный).CybSys писал(а):И после покупки вакуумного насоса, начались эксперименты, которые выявили некоторые трудности при работе с пониженным давлением.
Дилетанту сложные вещи кажутся очень простыми, и только профессионал понимает насколько сложна самая простая вещь
Кто хочет - ищет возможности, кто не хочет - ищет оправдание.
Найди работу по душе и тебе не придется работать.
Кто хочет - ищет возможности, кто не хочет - ищет оправдание.
Найди работу по душе и тебе не придется работать.
-
- Зачётный участник
- Сообщения: 34042
- Зарегистрирован: 04 апр 2010, 19:22
- Репутация: 6192
- Откуда: Казахстан.
- Контактная информация:
Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов
Установка из банки:
https://www.youtube.com/watch?v=c4Sic1DRXJI&t=39s
Пример для чего нужно тонкопленочное напыление:
https://www.youtube.com/watch?v=_zoeeR3geTA
https://www.youtube.com/watch?v=c4Sic1DRXJI&t=39s
Пример для чего нужно тонкопленочное напыление:
https://www.youtube.com/watch?v=_zoeeR3geTA
Дилетанту сложные вещи кажутся очень простыми, и только профессионал понимает насколько сложна самая простая вещь
Кто хочет - ищет возможности, кто не хочет - ищет оправдание.
Найди работу по душе и тебе не придется работать.
Кто хочет - ищет возможности, кто не хочет - ищет оправдание.
Найди работу по душе и тебе не придется работать.
- CybSys
- Почётный участник
- Сообщения: 480
- Зарегистрирован: 07 июн 2013, 10:02
- Репутация: 121
- Откуда: Иваново
- Контактная информация:
Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов
Конечно форма влияет... Вот к примеру при высоком давлении (например атмосферном), разряд будет пробивать в наименьшем межэлектродном расстоянии, и не важно какие будут электроды, игольчатые или плоские. А при низком давлении (вакууме) разряд будет более объемный. Все это конечно объяснимо... может в одном из видео постараюсь рассказать.tooshka писал(а):Интересно, а как форма электродов влияет на плазму? Может кольцо? Или кольцо с иголками обращенными в центр?
В моем случае анод я сделаю кольцом.
Как уже здесь сказали, пленка будет образовываться не только на подложке, но и на колпаке, так как атомы от мишени летят в разные стороныN1X писал(а):Интересная тема кстати
А на колпаке пленка не оседает?
Уважаемый aftaev, все эти видео видел и даже статью читал про банку, но все равно спасибо рад что кто то еще интересовался данной темой.
Мой канал: https://www.youtube.com/c/CybernetSystems
Мой ВК: https://vk.com/cybsys
Мой instagram: https://instagram.com/cybsystems?utm_medium=copy_link
Мой сайт: https://www.ivdetal.ru
Мой ВК: https://vk.com/cybsys
Мой instagram: https://instagram.com/cybsystems?utm_medium=copy_link
Мой сайт: https://www.ivdetal.ru
-
- Зачётный участник
- Сообщения: 34042
- Зарегистрирован: 04 апр 2010, 19:22
- Репутация: 6192
- Откуда: Казахстан.
- Контактная информация:
Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов
Мы банковый период еще в прошлом году прошли. Щас установку вакуумную ждемсCybSys писал(а):Уважаемый aftaev, все эти видео видел и даже статью читал про банку, но все равно спасибо
А что ты собрался делать в своей установке?CybSys писал(а):рад что кто то еще интересовался данной темой.
Дилетанту сложные вещи кажутся очень простыми, и только профессионал понимает насколько сложна самая простая вещь
Кто хочет - ищет возможности, кто не хочет - ищет оправдание.
Найди работу по душе и тебе не придется работать.
Кто хочет - ищет возможности, кто не хочет - ищет оправдание.
Найди работу по душе и тебе не придется работать.
- donvictorio
- Мастер
- Сообщения: 2449
- Зарегистрирован: 11 окт 2012, 16:26
- Репутация: 682
- Настоящее имя: Виктор
- Откуда: Санкт-Петербург
- Контактная информация:
Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов
мне когда зеркала дихроидные напыляли, то установка была больше похожа на танк, цилиндр из нержи в 20мм толщиной, диаметром в пол метра. и крошечное окошко, через которое видно только саму дугу. ну и куча ящиков с электрикой-насосами и ещё хз пойми чем.
штука нереально интересная.
штука нереально интересная.
- CybSys
- Почётный участник
- Сообщения: 480
- Зарегистрирован: 07 июн 2013, 10:02
- Репутация: 121
- Откуда: Иваново
- Контактная информация:
Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов
Все зависит от полученного результата...aftaev писал(а):А что ты собрался делать в своей установке?CybSys писал(а):рад что кто то еще интересовался данной темой.
Ну как минимум напыление...
Мой канал: https://www.youtube.com/c/CybernetSystems
Мой ВК: https://vk.com/cybsys
Мой instagram: https://instagram.com/cybsystems?utm_medium=copy_link
Мой сайт: https://www.ivdetal.ru
Мой ВК: https://vk.com/cybsys
Мой instagram: https://instagram.com/cybsystems?utm_medium=copy_link
Мой сайт: https://www.ivdetal.ru
- Q-starь
- Мастер
- Сообщения: 904
- Зарегистрирован: 04 апр 2011, 16:50
- Репутация: 604
- Настоящее имя: Гэн
- Откуда: Казахстан
- Контактная информация:
Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов
CybSys, напыление чего на что? Я на своём веку лет 30 отпылил и в голову не возьму чего можно практического в этой банке наваять. Разве шо "процесс" девкам показать для удивления и лёгкого последующего доступа.
- AndyBig
- Мастер
- Сообщения: 3971
- Зарегистрирован: 07 мар 2014, 04:01
- Репутация: 1121
- Откуда: юг России
- Контактная информация:
Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов
А разве нельзя, например, напылять на пластик медь, чтобы потом на нем гальванически нарастить слой хрома?
Ну это так, дилетантский взгляд
Ну это так, дилетантский взгляд
- Q-starь
- Мастер
- Сообщения: 904
- Зарегистрирован: 04 апр 2011, 16:50
- Репутация: 604
- Настоящее имя: Гэн
- Откуда: Казахстан
- Контактная информация:
Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов
Можна канеш, тока размер с фигу и не всё так просто с гальваникой по вакууму.
-
- Зачётный участник
- Сообщения: 34042
- Зарегистрирован: 04 апр 2010, 19:22
- Репутация: 6192
- Откуда: Казахстан.
- Контактная информация:
Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов
Опыт в чем есть? Что пылили?Q-starь писал(а):Я на своём веку лет 30 отпылил
Знакомы с напылением нитрид титана, карбонитрирование, азотирование, DLC ?
Мы таку установку на днях ждем. Планируем еще одну купить.
Дилетанту сложные вещи кажутся очень простыми, и только профессионал понимает насколько сложна самая простая вещь
Кто хочет - ищет возможности, кто не хочет - ищет оправдание.
Найди работу по душе и тебе не придется работать.
Кто хочет - ищет возможности, кто не хочет - ищет оправдание.
Найди работу по душе и тебе не придется работать.
- Q-starь
- Мастер
- Сообщения: 904
- Зарегистрирован: 04 апр 2011, 16:50
- Репутация: 604
- Настоящее имя: Гэн
- Откуда: Казахстан
- Контактная информация:
Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов
aftaev, Азотированием не баловался, остальное почти всё: Магнетрон - люминь, медь, нерж, титан на стекло, пластики , керамику и прочую хрень. Дугой на "булате" титан, цирконий упрочнялку и декор, и на железяки и типа ложки-зубы, и на стекло и пр. Лучём из тигля чо попало. Термо с вольфрама люминь на стекло и пластики. Кароч всего хватало, даже эпитаксией баловался по молодости так как профессия такая обязывает.
- CybSys
- Почётный участник
- Сообщения: 480
- Зарегистрирован: 07 июн 2013, 10:02
- Репутация: 121
- Откуда: Иваново
- Контактная информация:
Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов
Мой канал: https://www.youtube.com/c/CybernetSystems
Мой ВК: https://vk.com/cybsys
Мой instagram: https://instagram.com/cybsystems?utm_medium=copy_link
Мой сайт: https://www.ivdetal.ru
Мой ВК: https://vk.com/cybsys
Мой instagram: https://instagram.com/cybsystems?utm_medium=copy_link
Мой сайт: https://www.ivdetal.ru
-
- Зачётный участник
- Сообщения: 34042
- Зарегистрирован: 04 апр 2010, 19:22
- Репутация: 6192
- Откуда: Казахстан.
- Контактная информация:
Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов
Не понимаю зачем в видео выкладывать как распаковывать посылку В магазине холодильной техники продают манометры под вакуумметры
Дилетанту сложные вещи кажутся очень простыми, и только профессионал понимает насколько сложна самая простая вещь
Кто хочет - ищет возможности, кто не хочет - ищет оправдание.
Найди работу по душе и тебе не придется работать.
Кто хочет - ищет возможности, кто не хочет - ищет оправдание.
Найди работу по душе и тебе не придется работать.
- odekolon
- Мастер
- Сообщения: 1103
- Зарегистрирован: 05 ноя 2014, 14:53
- Репутация: 360
- Настоящее имя: Борис
- Контактная информация:
Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов
я в дюксе контроллер покупал, снял видео, отправил им, они мне 500 р вернули (акция у них такая)aftaev писал(а):Не понимаю зачем в видео выкладывать как распаковывать посылку В магазине холодильной техники продают манометры под вакуумметры
"Капиталистом стать можно лишь тогда, когда обогатишь свою память знанием всех тех богатств, которые выработало человечество"
- Сергей Саныч
- Мастер
- Сообщения: 9116
- Зарегистрирован: 30 май 2012, 14:20
- Репутация: 2857
- Откуда: Тюмень
- Контактная информация:
Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов
Эти механические вакууметры хорошо подходят для, например, вакуумных столов, но для применений, где надо измерять не перепад давлений, а абсолютное остаточное давление хотя бы до 1000 Па, они непригодны. И дело даже не в недостаточной точности и чувствительности, а в том, что их показания зависят в буквальном смысле от погоды (а также высоты над уровнем моря). То есть они показывают разность давлений на входе и снаружи. При хорошей, ясной погоде могут даже отрицательное давление показатьCybSys писал(а):Движемся тихонько
Чудес не бывает. Бывают фокусы.