Установка магнетронного напыления пленок металлов

Намоточные, сверлильные, электроэррозионные и другие станки с ЧПУ.
Аватара пользователя
N1X
Мастер
Сообщения: 3653
Зарегистрирован: 16 фев 2015, 21:19
Репутация: 1645
Настоящее имя: Владимир
Откуда: Беларусь, Гомель
Контактная информация:

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение N1X »

Для таких задач помоему что-то вроде вот такого нужно: https://avacuum.ru/rus/dev/vacmeas/g44/
Или его современные замены. А головка на фото показывает разве что факт того, что колпак отодрать не выйдет )
Аватара пользователя
Q-starь
Мастер
Сообщения: 904
Зарегистрирован: 04 апр 2011, 16:50
Репутация: 604
Настоящее имя: Гэн
Откуда: Казахстан
Контактная информация:

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение Q-starь »

CybSys писал(а):Движемся тихонько

https://www.youtube.com/watch?v=mOXIYKl3V4A
Ваще эта штука тебе не нужная! Только лишняя дырка в вак. системе( а это вероятность течи! ) Не ставь её. Нужно ставить ПМТ-2 или ПМТ6-3 на низкий вакуум и ПМИ-51 на высокий . К лампам ещё вакуумметры. Или брать универсальный вакуумметр Мерадат какой нить.
Винтовка, жена и ложка - оружие строго индивидуальное!
Изображение
aftaev
Зачётный участник
Зачётный участник
Сообщения: 34042
Зарегистрирован: 04 апр 2010, 19:22
Репутация: 6192
Откуда: Казахстан.
Контактная информация:

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение aftaev »

Q-starь писал(а): Или брать универсальный вакуумметр Мерадат какой нить.
Мерадат будет стоить как 500 установок в этой теме :)

3я фотка вакуумметр, вторая фотка РРГ для подачи газов в камеру Re: Что я урвал, хвастаемся покупками, завидуем и облизываем #3812
Дилетанту сложные вещи кажутся очень простыми, и только профессионал понимает насколько сложна самая простая вещь
Кто хочет - ищет возможности, кто не хочет - ищет оправдание.
Найди работу по душе и тебе не придется работать.
aftaev
Зачётный участник
Зачётный участник
Сообщения: 34042
Зарегистрирован: 04 апр 2010, 19:22
Репутация: 6192
Откуда: Казахстан.
Контактная информация:

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение aftaev »

N1X писал(а):Для таких задач помоему что-то вроде вот такого нужно: https://avacuum.ru/rus/dev/vacmeas/g44/
Есть вариант по дешевше сбацать самому датчик вакуума на принципе Пирани https://ru.wikipedia.org/wiki/%D0%92%D0 ... 0%BD%D0%B8. Суть примерно такая: чем больше вакуум, тем меньше молекул которые могут отбирать тепло у нити накаливания. Чем больше вакуум, тем меньше тепла будет отдавать нить и сильнее греться и будет меняться сопротивление нити.
https://www.youtube.com/watch?v=O_D_C3a8HwI&t=377s

CybSys, надумаешь измерять вакуум ламошкой вот темы:
http://www.chipmaker.ru/topic/67434/pag ... try1646095
http://www.chipmaker.ru/topic/67434/pag ... try1652715

И видио из темы
https://www.youtube.com/watch?v=K9IF-loA0fU
Дилетанту сложные вещи кажутся очень простыми, и только профессионал понимает насколько сложна самая простая вещь
Кто хочет - ищет возможности, кто не хочет - ищет оправдание.
Найди работу по душе и тебе не придется работать.
Аватара пользователя
N1X
Мастер
Сообщения: 3653
Зарегистрирован: 16 фев 2015, 21:19
Репутация: 1645
Настоящее имя: Владимир
Откуда: Беларусь, Гомель
Контактная информация:

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение N1X »

aftaev писал(а):Есть вариант по дешевше сбацать самому датчик вакуума
Ну тот же ПМТ-2 не особо то дорогой, но измеритель если к нему делать - то его нужно калибровать по эталонному прибору... Как и с лампочкокй
Аватара пользователя
CybSys
Почётный участник
Почётный участник
Сообщения: 480
Зарегистрирован: 07 июн 2013, 10:02
Репутация: 121
Откуда: Иваново
Контактная информация:

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение CybSys »

Всем спасибо за ответы! :)
В одном из своих видео я подключал насос к более менее нормальной вакуумной системе в которой был установлен датчик ПМТ в итоге намерили давление в 30Па, ну это максимум что удалось добиться. Но вот этот самый датчик (ПМТ- цифру не помню) такое высокое давление плохо детектирует, и я его решил не ставить. А вообще датчик ПМТ-4м у меня есть и я даже хотел сделать для него контроллер, но потом передумал, так как времени пожалел, да и подумал что он может не пригодиться... мало того к контроллеру надо цеплять хороший АЦП с большим разрешением так как надо мерить очень малые токи 0,000А...

Из лампочки делать не буду, но все равно спасибо.

Сейчас в процессе производства находится магнетрон, жду его для внедрения.
Подключал насос на прямую к колпаку, откачивал, и оставлял примерно на сутки - с утра колпак по прежнему не оторвать... хотя если течь очень маленькая то я бы его и через неделю может не оторвал...
Аватара пользователя
N1X
Мастер
Сообщения: 3653
Зарегистрирован: 16 фев 2015, 21:19
Репутация: 1645
Настоящее имя: Владимир
Откуда: Беларусь, Гомель
Контактная информация:

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение N1X »

CybSys писал(а):АЦП с большим разрешением так как надо мерить очень малые токи 0,000А...
Тут скорость изменения сигнала малая, поэтому сигма-дельта АЦП станет не дорого...
SVP
Мастер
Сообщения: 6135
Зарегистрирован: 19 дек 2012, 15:49
Репутация: 884
Откуда: Москва
Контактная информация:

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение SVP »

CybSys писал(а):с утра колпак по прежнему не оторвать...
0.5 откачайте и тоже оторвать не сможете...
Аватара пользователя
Q-starь
Мастер
Сообщения: 904
Зарегистрирован: 04 апр 2011, 16:50
Репутация: 604
Настоящее имя: Гэн
Откуда: Казахстан
Контактная информация:

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение Q-starь »

Хороший вакуумметр всё равно нужен, без него магнетронное напыление - танцы с бубном, не будет повторяемости, если ваще чёта будет. А ево легче купить чем сделать, ищи на Авито ВИТ-3
Винтовка, жена и ложка - оружие строго индивидуальное!
Изображение
Аватара пользователя
donvictorio
Мастер
Сообщения: 2451
Зарегистрирован: 11 окт 2012, 16:26
Репутация: 682
Настоящее имя: Виктор
Откуда: Санкт-Петербург
Контактная информация:

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение donvictorio »

Q-starь писал(а):ВИТ-3
15к однако...
Изображение
Аватара пользователя
Q-starь
Мастер
Сообщения: 904
Зарегистрирован: 04 апр 2011, 16:50
Репутация: 604
Настоящее имя: Гэн
Откуда: Казахстан
Контактная информация:

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение Q-starь »

ВИТ-2 - устаревшая модель, с ним работает только ПМИ-2, а их щяс днёмсагнём. ПМИ-51 как то можно подключить, но эт колдовать надо и неизвестно.
А ВТ-3,2,раз и прочие проблемы не решают , они только фор мериют.
Винтовка, жена и ложка - оружие строго индивидуальное!
Изображение
aftaev
Зачётный участник
Зачётный участник
Сообщения: 34042
Зарегистрирован: 04 апр 2010, 19:22
Репутация: 6192
Откуда: Казахстан.
Контактная информация:

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение aftaev »

Q-starь писал(а):с ним работает только ПМИ-2, а их щяс днёмсагнём.
http://directlot.ru/lot.php?id=44217

ТС похоже мерить и стабильно напылять ничего не собирается. Нет изначально задачи что требуется получить. Поиграется и бросит. В лучшем случае на Ютубе просмотров наберет :)
Дилетанту сложные вещи кажутся очень простыми, и только профессионал понимает насколько сложна самая простая вещь
Кто хочет - ищет возможности, кто не хочет - ищет оправдание.
Найди работу по душе и тебе не придется работать.
Аватара пользователя
CybSys
Почётный участник
Почётный участник
Сообщения: 480
Зарегистрирован: 07 июн 2013, 10:02
Репутация: 121
Откуда: Иваново
Контактная информация:

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение CybSys »

Очень хочется нормально мерить и стабильно напылять, и при всем этом хочется собрать работоспособную установку не колхозя…
Изначально хотелось вставить в систему манометрическую лампу и сделать под неё контроллер, но после замера вакуума создаваемого насосом планы изменились, так как вакуум достаточно низкий, и при использовании лампы ПМТ-4 измерение было на нижней границе (стрелка милливольтметра почти не отклонялась)… В виду того что с насосом все было не понятно, в измерение вакуума вкладываться передумал…
Но вот немного посмотрев на существующие лампы, нашел ПМТ- 2 (http://www.sibcomplect.ru/shop/evp/pmt/ ... C%D1%82-2/) она измеряет давление от 0,13Па до 666Па, вот с такой лампой можно заморочится, контроллер конечно же свой. Кто что думает насчет лампы?
aftaev
Зачётный участник
Зачётный участник
Сообщения: 34042
Зарегистрирован: 04 апр 2010, 19:22
Репутация: 6192
Откуда: Казахстан.
Контактная информация:

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение aftaev »

CybSys писал(а): вот с такой лампой можно заморочится, контроллер конечно же свой. Кто что думает насчет лампы?
Лампу таку купил, АЦП для ардуины купил, ардуину купил - мож как нибудь соберу и расскажу :)

CybSys, диф насос не требуется http://directlot.ru/lot.php?id=43754
Дилетанту сложные вещи кажутся очень простыми, и только профессионал понимает насколько сложна самая простая вещь
Кто хочет - ищет возможности, кто не хочет - ищет оправдание.
Найди работу по душе и тебе не придется работать.
Аватара пользователя
CybSys
Почётный участник
Почётный участник
Сообщения: 480
Зарегистрирован: 07 июн 2013, 10:02
Репутация: 121
Откуда: Иваново
Контактная информация:

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение CybSys »

какое у вас ацп для ардуино?
aftaev
Зачётный участник
Зачётный участник
Сообщения: 34042
Зарегистрирован: 04 апр 2010, 19:22
Репутация: 6192
Откуда: Казахстан.
Контактная информация:

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение aftaev »

CybSys писал(а):какое у вас ацп для ардуино?
Нужны микрухи для подключения термопары к Ардуино. ПМТ-2 так понимаю это термопарный. Там нить накала и термопара.
https://ru.aliexpress.com/item/1PCS-ADS ... 0.0.snmxqV
https://ru.aliexpress.com/item/16-Bit-I ... 0.0.snmxqV
https://ru.aliexpress.com/item/1PCS-AD8 ... 0.0.snmxqV
Дилетанту сложные вещи кажутся очень простыми, и только профессионал понимает насколько сложна самая простая вещь
Кто хочет - ищет возможности, кто не хочет - ищет оправдание.
Найди работу по душе и тебе не придется работать.
Аватара пользователя
ZL0
Опытный
Сообщения: 131
Зарегистрирован: 27 июл 2015, 09:38
Репутация: 43
Настоящее имя: Александр Витальевич П.
Откуда: Киров, Кировская область
Контактная информация:

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение ZL0 »

CybSys писал(а):работоспособную установку не колхозя…
Пройдено, осмыслено, выброшено из головы. На Росатоме год назад продавалась Satis850, за 80 тыров отдавали всборе (может еще стоит). Документация вся у людей есть, Оптон с чипмейкера на такой пылит.
ТС, Вы бы лучше на чипе соответствующий раздел покурили месяца два, книжки по тематике почитали, а потом уж и брались за изготовление (оно всё равно не выгодно, посчитали уже). И про магнетрон я Евгения Берлина доставал и, под его "руководством" рисовал магнетрон правильный.
попытка3.JPG (2676 просмотров) <a class='original' href='./download/file.php?id=108584&sid=cf22d0e9a90c67aae8d67ac625857f12&mode=view' target=_blank>Загрузить оригинал (64.62 КБ)</a>
А потом лично ко мне пришло понимание, что пока не потяну установку. Вовремя остановился считаю :wik:
aftaev
Зачётный участник
Зачётный участник
Сообщения: 34042
Зарегистрирован: 04 апр 2010, 19:22
Репутация: 6192
Откуда: Казахстан.
Контактная информация:

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение aftaev »

ZL0 писал(а):И про магнетрон я Евгения Берлина доставал и, под его "руководством" рисовал магнетрон правильный.
Какие знакомые люди, только сегодня с ним общались по телефону :)
ZL0 писал(а):А потом лично ко мне пришло понимание, что пока не потяну установку.
А установка нужна была для каких целей?
Дилетанту сложные вещи кажутся очень простыми, и только профессионал понимает насколько сложна самая простая вещь
Кто хочет - ищет возможности, кто не хочет - ищет оправдание.
Найди работу по душе и тебе не придется работать.
Аватара пользователя
ZL0
Опытный
Сообщения: 131
Зарегистрирован: 27 июл 2015, 09:38
Репутация: 43
Настоящее имя: Александр Витальевич П.
Откуда: Киров, Кировская область
Контактная информация:

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение ZL0 »

aftaev писал(а):А установка нужна была для каких целей?
Делать то, что нормальные пыльщики считают браком :hehehe:
труба.JPG (2653 просмотра) <a class='original' href='./download/file.php?id=108585&sid=cf22d0e9a90c67aae8d67ac625857f12&mode=view' target=_blank>Загрузить оригинал (95.05 КБ)</a>
aftaev
Зачётный участник
Зачётный участник
Сообщения: 34042
Зарегистрирован: 04 апр 2010, 19:22
Репутация: 6192
Откуда: Казахстан.
Контактная информация:

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение aftaev »

ZL0 писал(а):Делать то, что нормальные пыльщики считают браком
Спроси у Берлина что можно пылить на их установках чтоб они окупались, про эти трубы фиолетомалиновые забудешь ;)
Дилетанту сложные вещи кажутся очень простыми, и только профессионал понимает насколько сложна самая простая вещь
Кто хочет - ищет возможности, кто не хочет - ищет оправдание.
Найди работу по душе и тебе не придется работать.
Ответить

Вернуться в «Прочие станки»