Установка магнетронного напыления пленок металлов

[N1X]

Для таких задач помоему что-то вроде вот такого нужно: https://avacuum.ru/rus/dev/vacmeas/g44/
Или его современные замены. А головка на фото показывает разве что факт того, что колпак отодрать не выйдет )

[Q-starь]

Движемся тихонько

https://www.youtube.com/watch?v=mOXIYKl3V4A

Ваще эта штука тебе не нужная! Только лишняя дырка в вак. системе( а это вероятность течи! ) Не ставь её. Нужно ставить ПМТ-2 или ПМТ6-3 на низкий вакуум и ПМИ-51 на высокий . К лампам ещё вакуумметры. Или брать универсальный вакуумметр Мерадат какой нить.

[aftaev]

Или брать универсальный вакуумметр Мерадат какой нить.

Мерадат будет стоить как 500 установок в этой теме

3я фотка вакуумметр, вторая фотка РРГ для подачи газов в камеру Re: Что я урвал, хвастаемся покупками, завидуем и облизываем #3812

[aftaev]

Для таких задач помоему что-то вроде вот такого нужно: https://avacuum.ru/rus/dev/vacmeas/g44/

Есть вариант по дешевше сбацать самому датчик вакуума на принципе Пирани https://ru.wikipedia.org/wiki/%D0%92%D0 ... 0%BD%D0%B8. Суть примерно такая: чем больше вакуум, тем меньше молекул которые могут отбирать тепло у нити накаливания. Чем больше вакуум, тем меньше тепла будет отдавать нить и сильнее греться и будет меняться сопротивление нити.
https://www.youtube.com/watch?v=O_D_C3a8HwI&t=377s

CybSys, надумаешь измерять вакуум ламошкой вот темы:
http://www.chipmaker.ru/topic/67434/pag ... try1646095
http://www.chipmaker.ru/topic/67434/pag ... try1652715

И видио из темы
https://www.youtube.com/watch?v=K9IF-loA0fU

[N1X]

Есть вариант по дешевше сбацать самому датчик вакуума

Ну тот же ПМТ-2 не особо то дорогой, но измеритель если к нему делать - то его нужно калибровать по эталонному прибору... Как и с лампочкокй

[CybSys]

Всем спасибо за ответы!
В одном из своих видео я подключал насос к более менее нормальной вакуумной системе в которой был установлен датчик ПМТ в итоге намерили давление в 30Па, ну это максимум что удалось добиться. Но вот этот самый датчик (ПМТ- цифру не помню) такое высокое давление плохо детектирует, и я его решил не ставить. А вообще датчик ПМТ-4м у меня есть и я даже хотел сделать для него контроллер, но потом передумал, так как времени пожалел, да и подумал что он может не пригодиться... мало того к контроллеру надо цеплять хороший АЦП с большим разрешением так как надо мерить очень малые токи 0,000А...

Из лампочки делать не буду, но все равно спасибо.

Сейчас в процессе производства находится магнетрон, жду его для внедрения.
Подключал насос на прямую к колпаку, откачивал, и оставлял примерно на сутки - с утра колпак по прежнему не оторвать... хотя если течь очень маленькая то я бы его и через неделю может не оторвал...

[N1X]

АЦП с большим разрешением так как надо мерить очень малые токи 0,000А...

Тут скорость изменения сигнала малая, поэтому сигма-дельта АЦП станет не дорого...

[SVP]

с утра колпак по прежнему не оторвать...

0.5 откачайте и тоже оторвать не сможете...

[Q-starь]

Хороший вакуумметр всё равно нужен, без него магнетронное напыление - танцы с бубном, не будет повторяемости, если ваще чёта будет. А ево легче купить чем сделать, ищи на Авито ВИТ-3

[donvictorio]

ВИТ-3

15к однако...

[Q-starь]

ВИТ-2 - устаревшая модель, с ним работает только ПМИ-2, а их щяс днёмсагнём. ПМИ-51 как то можно подключить, но эт колдовать надо и неизвестно.
А ВТ-3,2,раз и прочие проблемы не решают , они только фор мериют.

[aftaev]

с ним работает только ПМИ-2, а их щяс днёмсагнём.

http://directlot.ru/lot.php?id=44217

ТС похоже мерить и стабильно напылять ничего не собирается. Нет изначально задачи что требуется получить. Поиграется и бросит. В лучшем случае на Ютубе просмотров наберет

[CybSys]

Очень хочется нормально мерить и стабильно напылять, и при всем этом хочется собрать работоспособную установку не колхозя…
Изначально хотелось вставить в систему манометрическую лампу и сделать под неё контроллер, но после замера вакуума создаваемого насосом планы изменились, так как вакуум достаточно низкий, и при использовании лампы ПМТ-4 измерение было на нижней границе (стрелка милливольтметра почти не отклонялась)… В виду того что с насосом все было не понятно, в измерение вакуума вкладываться передумал…
Но вот немного посмотрев на существующие лампы, нашел ПМТ- 2 (http://www.sibcomplect.ru/shop/evp/pmt/ ... C%D1%82-2/) она измеряет давление от 0,13Па до 666Па, вот с такой лампой можно заморочится, контроллер конечно же свой. Кто что думает насчет лампы?

[aftaev]

вот с такой лампой можно заморочится, контроллер конечно же свой. Кто что думает насчет лампы?

Лампу таку купил, АЦП для ардуины купил, ардуину купил - мож как нибудь соберу и расскажу

CybSys, диф насос не требуется http://directlot.ru/lot.php?id=43754

[CybSys]

какое у вас ацп для ардуино?

[aftaev]

какое у вас ацп для ардуино?

Нужны микрухи для подключения термопары к Ардуино. ПМТ-2 так понимаю это термопарный. Там нить накала и термопара.
https://ru.aliexpress.com/item/1PCS-ADS ... 0.0.snmxqV
https://ru.aliexpress.com/item/16-Bit-I ... 0.0.snmxqV
https://ru.aliexpress.com/item/1PCS-AD8 ... 0.0.snmxqV

[ZL0]

работоспособную установку не колхозя…

Пройдено, осмыслено, выброшено из головы. На Росатоме год назад продавалась Satis850, за 80 тыров отдавали всборе (может еще стоит). Документация вся у людей есть, Оптон с чипмейкера на такой пылит.
ТС, Вы бы лучше на чипе соответствующий раздел покурили месяца два, книжки по тематике почитали, а потом уж и брались за изготовление (оно всё равно не выгодно, посчитали уже). И про магнетрон я Евгения Берлина доставал и, под его "руководством" рисовал магнетрон правильный.

А потом лично ко мне пришло понимание, что пока не потяну установку. Вовремя остановился считаю

[aftaev]

И про магнетрон я Евгения Берлина доставал и, под его "руководством" рисовал магнетрон правильный.

Какие знакомые люди, только сегодня с ним общались по телефону

А потом лично ко мне пришло понимание, что пока не потяну установку.

А установка нужна была для каких целей?

[ZL0]

А установка нужна была для каких целей?

Делать то, что нормальные пыльщики считают браком

[aftaev]

Делать то, что нормальные пыльщики считают браком

Спроси у Берлина что можно пылить на их установках чтоб они окупались, про эти трубы фиолетомалиновые забудешь