Установка магнетронного напыления пленок металлов

[aftaev]

Мне бы добиться 100Па под колпаком

Наш китайский форнасос 2х ступенчатый откачивает до 15Па (так выглядит http://suryaera.com/tools-peralatan-pen ... ump-vh115n)

но пока померить не чем... думаю скоро и этим вопросом займусь

http://directlot.ru/lot.php?id=12042
Или можно что нибудь на евау за недорого подыскать, себе подобрали за 26 баксов Re: Что я урвал, хвастаемся покупками, завидуем и облизываем #3902

[CybSys]

У меня похожий насос, вот только рабочий объем маловат...
По установки все готово устраняю мелкие течи, но не знаю где они (((

[Q-starь]

Чья плазма бывает и что она делает в магнетронном напылении?

Вам в магнетроне как минимум аргоновая нужна, но я так в толк и не возьму чо хотите распылять?

[CybSys]

Теперь понятно что вы имели ввиду. Аргоном пока продувать не чего не буду. Буду пробовать пока с плазмой воздуха точнее с плазмой остаточных газов.

[CybSys]

Распылять хочу медь, но в качестве мишени пока аминий, так как не нашел куска меди

[aftaev]

но в качестве мишени пока аминий

Это новый элемент? Подключил к нему ток, аминь и его нет = аминий

[Q-starь]

Распылять хочу медь, но в качестве мишени пока аминий, так как не нашел куска меди

Люминь не особо хороший выбор, у него всегда окись на поверхности, поэтому старт всегда пляски с бубном. Возьмите нержу не магнитную - всё проще.

[CybSys]

Про оксид алюминия знаю - по этому и хочу заменить на медь

[CybSys]

Включение, испытание, течи:

[youtube]https://youtu.be/izCBximuM2M[/youtube]

[Q-starь]

Включение, испытание, течи:

[youtube]https://youtu.be/izCBximuM2M[/youtube]

Чёта у вас там вместо плазмы дуга шарашит - не гуд, будет эрозия - деталька на выброс. Не увидел поиск течи, и как её будете без вакуумметра искать?

[CybSys]

Залил мыльным раствором немного, и все стало ясно

[aftaev]

Q-starь, почему в течеискателях используется гелий

[Serg]

Гелий - одноатомный газ (молекула состоит из одного атома), поэтому он просочится туда, куда не пролезут молекулы других газов (например молекулы водорода, кислорода состоят из двух атомов).

[Q-starь]

Ну примерно так - он самый маленький и самый безопастный. Кислородом обдувать масляную систему не кошерно, водородом о подавно. Азотом? Смысл, его в остаточной атмосфере под 80%.

[aftaev]

Q-starь, зачем гелевому течеискателю нужен вакуум?
Так понимаю на видео под кожухом стоит вакуумный насос. Или эта штука нужно только для определения кол-во утечки(натекания), но не поиска в каком месте есть течь?
https://www.youtube.com/watch?v=d_Ty2s1LCEY

[Q-starь]

У течеискателя конечно же есть своя вак система, а иначе как гелий попадёт на датчик. Течеискатель подключается к проверяемой камере, она откачивается ( хоть собственными насосами, хоть ТИ, а чаще и тем и другим ) Потом камера обдувается гелием и смотрится по датчикам где дыра, они очень быстро реагируют. Можно датчики ставить в магистраль откачки камеры, тогда насосы течеискателя не нужны, но точность ниже

[aftaev]

Не есть понимать
Камеру вакуумируем, запускаем гелий. В камере какое давление получаем? Датчики на гелий где стоят внутри или снаружи?

[Q-starь]

Не есть понимать
Камеру вакуумируем, запускаем гелий. В камере какое давление получаем? Датчики на гелий где стоят внутри или снаружи?

Куда запускаем! Камеру снаружи поливаем гелием, не целиком а подозрительные места обдуваем легонько из шланчика. Датчик умнутри течеискателя. Если датчик в магистраль мастырить его от туда изьять надо, а есть переносные.

[Serg]

Если я за 30 лет ничего не забыл, то с помощью гелия определяется размер дырки по скорости натекания гелия. А место дырки определяется высоковольтным разрядом

[Q-starь]

А место дырки определяется высоковольтным разрядом

Если я за 30 лет ничего не забыл то Тесла это немного другой метод.