Установка магнетронного напыления пленок металлов

Намоточные, сверлильные, электроэррозионные и другие станки с ЧПУ.
aftaev
Зачётный участник
Зачётный участник
Сообщения: 34042
Зарегистрирован: 04 апр 2010, 19:22
Репутация: 6192
Откуда: Казахстан.
Контактная информация:

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение aftaev »

Q-starь писал(а):Это для каких-таких целей?
Вы этим не баловались Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов #16
Азот должен постоянно через камеру прокачиваться и поддерживаться нужное давление.
Q-starь писал(а):Для такой кастрюли 5-ти литрового насоса достаточно,
У нас диаметр что то 500 и высота около 800, там явно не 5 литров ;)
Дилетанту сложные вещи кажутся очень простыми, и только профессионал понимает насколько сложна самая простая вещь
Кто хочет - ищет возможности, кто не хочет - ищет оправдание.
Найди работу по душе и тебе не придется работать.
Аватара пользователя
Q-starь
Мастер
Сообщения: 904
Зарегистрирован: 04 апр 2011, 16:50
Репутация: 604
Настоящее имя: Гэн
Откуда: Казахстан
Контактная информация:

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение Q-starь »

aftaev писал(а):
Q-starь писал(а):Это для каких-таких целей?
Вы этим не баловались Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов #16
Азот должен постоянно через камеру прокачиваться и поддерживаться нужное давление.
Q-starь писал(а):Для такой кастрюли 5-ти литрового насоса достаточно,
У нас диаметр что то 500 и высота около 800, там явно не 5 литров ;)
Эээээээээ, 5 литров это в секунду. Для магнетрона тоже продувка аргоном желательна, и стабильная цифра, правда вакуум повыше.
Камера у вас литров 160. В моей было больше куба, стоял 20-ти литровый - за глаза.
Винтовка, жена и ложка - оружие строго индивидуальное!
Изображение
aftaev
Зачётный участник
Зачётный участник
Сообщения: 34042
Зарегистрирован: 04 апр 2010, 19:22
Репутация: 6192
Откуда: Казахстан.
Контактная информация:

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение aftaev »

Q-starь писал(а):Эээээээээ, 5 литров это в секунду.
Ну так если сленгами писать, то все и все поймут ;)
Дилетанту сложные вещи кажутся очень простыми, и только профессионал понимает насколько сложна самая простая вещь
Кто хочет - ищет возможности, кто не хочет - ищет оправдание.
Найди работу по душе и тебе не придется работать.
Аватара пользователя
Q-starь
Мастер
Сообщения: 904
Зарегистрирован: 04 апр 2011, 16:50
Репутация: 604
Настоящее имя: Гэн
Откуда: Казахстан
Контактная информация:

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение Q-starь »

aftaev писал(а):
Q-starь писал(а):Эээээээээ, 5 литров это в секунду.
Ну так если сленгами писать, то все и все поймут ;)
Прошу пардона, впредь буду проще, но у вакуумщиков все насосы литрами в секунду меряются, любого типа.
Винтовка, жена и ложка - оружие строго индивидуальное!
Изображение
Аватара пользователя
CybSys
Почётный участник
Почётный участник
Сообщения: 480
Зарегистрирован: 07 июн 2013, 10:02
Репутация: 121
Откуда: Иваново
Контактная информация:

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение CybSys »

Приборная панель пока будет выглядеть так:
IMG_3743[1].JPG (2702 просмотра) <a class='original' href='./download/file.php?id=111216&sid=03b0f5caae2ea80faddc0628fed85609&mode=view' target=_blank>Загрузить оригинал (962.44 КБ)</a>
IMG_3744[1].JPG (2702 просмотра) <a class='original' href='./download/file.php?id=111217&sid=03b0f5caae2ea80faddc0628fed85609&mode=view' target=_blank>Загрузить оригинал (1014.26 КБ)</a>
А вот с мишенью какая то фигня... Не могу найти кусочек меди 80х80х3+-1
Аватара пользователя
CybSys
Почётный участник
Почётный участник
Сообщения: 480
Зарегистрирован: 07 июн 2013, 10:02
Репутация: 121
Откуда: Иваново
Контактная информация:

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение CybSys »

Почти все детали в наличие, остается все связать воедино
Вложения
IMG_3745[1].JPG (2686 просмотров) <a class='original' href='./download/file.php?id=111250&sid=03b0f5caae2ea80faddc0628fed85609&mode=view' target=_blank>Загрузить оригинал (1.21 МБ)</a>
Аватара пользователя
Q-starь
Мастер
Сообщения: 904
Зарегистрирован: 04 апр 2011, 16:50
Репутация: 604
Настоящее имя: Гэн
Откуда: Казахстан
Контактная информация:

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение Q-starь »

CybSys писал(а):Почти все детали в наличие, остается все связать воедино
Та круглый стрелка которая справа ваще ни к чему, а слева чо будет мерить?
Винтовка, жена и ложка - оружие строго индивидуальное!
Изображение
Аватара пользователя
CybSys
Почётный участник
Почётный участник
Сообщения: 480
Зарегистрирован: 07 июн 2013, 10:02
Репутация: 121
Откуда: Иваново
Контактная информация:

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение CybSys »

манометр подключать не буду, вставил для красоты - отверстие закрыть.
а квадратный приборчик - это миллиамперметр
Аватара пользователя
Q-starь
Мастер
Сообщения: 904
Зарегистрирован: 04 апр 2011, 16:50
Репутация: 604
Настоящее имя: Гэн
Откуда: Казахстан
Контактная информация:

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение Q-starь »

CybSys писал(а):манометр подключать не буду, вставил для красоты - отверстие закрыть.
а квадратный приборчик - это миллиамперметр
Ток чего он будет мерить?
Винтовка, жена и ложка - оружие строго индивидуальное!
Изображение
Аватара пользователя
CybSys
Почётный участник
Почётный участник
Сообщения: 480
Зарегистрирован: 07 июн 2013, 10:02
Репутация: 121
Откуда: Иваново
Контактная информация:

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение CybSys »

ток плазмы под колпаком, вот только предел измерений маловат...
Аватара пользователя
Q-starь
Мастер
Сообщения: 904
Зарегистрирован: 04 апр 2011, 16:50
Репутация: 604
Настоящее имя: Гэн
Откуда: Казахстан
Контактная информация:

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение Q-starь »

CybSys писал(а):ток плазмы под колпаком, вот только предел измерений маловат...
Рабочий ток магнетрона имеется в виду? Всегда думал шо приборчик на БП присуцтвует и надо бы шоб цыфравой. И какой БП планируецца? Там требований хватает: стабилизация по току или по мощности смотря какие задачи по плёнке.
Винтовка, жена и ложка - оружие строго индивидуальное!
Изображение
Аватара пользователя
CybSys
Почётный участник
Почётный участник
Сообщения: 480
Зарегистрирован: 07 июн 2013, 10:02
Репутация: 121
Откуда: Иваново
Контактная информация:

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение CybSys »

Q-starь писал(а):
CybSys писал(а):ток плазмы под колпаком, вот только предел измерений маловат...
Рабочий ток магнетрона имеется в виду? Всегда думал шо приборчик на БП присуцтвует и надо бы шоб цыфравой. И какой БП планируецца? Там требований хватает: стабилизация по току или по мощности смотря какие задачи по плёнке.
Нет, именно ток плазмы.
А блок питания будет вот такой:

https://www.youtube.com/watch?v=Iz3DtDjxbSM
aftaev
Зачётный участник
Зачётный участник
Сообщения: 34042
Зарегистрирован: 04 апр 2010, 19:22
Репутация: 6192
Откуда: Казахстан.
Контактная информация:

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение aftaev »

А мы сделали проще, купили еще одну установку. С БП, магнетроном, ионным источником :)
01.jpg (2591 просмотр) <a class='original' href='./download/file.php?id=111946&sid=03b0f5caae2ea80faddc0628fed85609&mode=view' target=_blank>Загрузить оригинал (149.62 КБ)</a>
02.jpg (2591 просмотр) <a class='original' href='./download/file.php?id=111947&sid=03b0f5caae2ea80faddc0628fed85609&mode=view' target=_blank>Загрузить оригинал (136 КБ)</a>
Дилетанту сложные вещи кажутся очень простыми, и только профессионал понимает насколько сложна самая простая вещь
Кто хочет - ищет возможности, кто не хочет - ищет оправдание.
Найди работу по душе и тебе не придется работать.
Аватара пользователя
CybSys
Почётный участник
Почётный участник
Сообщения: 480
Зарегистрирован: 07 июн 2013, 10:02
Репутация: 121
Откуда: Иваново
Контактная информация:

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение CybSys »

Вы в этом плане правильно поступили, я же в ходе своих научных изысканий занимаюсь/лся высоковольтными источниками питания разряда и вообще низкотемпературными плазменными установками... а для плазмы низкого давления сильно высокое напряжение не нужно...
Аватара пользователя
Q-starь
Мастер
Сообщения: 904
Зарегистрирован: 04 апр 2011, 16:50
Репутация: 604
Настоящее имя: Гэн
Откуда: Казахстан
Контактная информация:

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение Q-starь »

Для магнетрона надо около киловольта и стабилизированный регулируемый по току, либо по мощности исходя из задачи, а плазмой чо делать собираетесь? И чья она будет?
Винтовка, жена и ложка - оружие строго индивидуальное!
Изображение
Аватара пользователя
donvictorio
Мастер
Сообщения: 2449
Зарегистрирован: 11 окт 2012, 16:26
Репутация: 680
Настоящее имя: Виктор
Откуда: Санкт-Петербург
Контактная информация:

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение donvictorio »

нубский вопрос: как защитить стёклышко на окошке?
или его постоянно менять надо?
aftaev
Зачётный участник
Зачётный участник
Сообщения: 34042
Зарегистрирован: 04 апр 2010, 19:22
Репутация: 6192
Откуда: Казахстан.
Контактная информация:

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение aftaev »

donvictorio писал(а):как защитить стёклышко на окошке?
от чего?
Дилетанту сложные вещи кажутся очень простыми, и только профессионал понимает насколько сложна самая простая вещь
Кто хочет - ищет возможности, кто не хочет - ищет оправдание.
Найди работу по душе и тебе не придется работать.
Аватара пользователя
donvictorio
Мастер
Сообщения: 2449
Зарегистрирован: 11 окт 2012, 16:26
Репутация: 680
Настоящее имя: Виктор
Откуда: Санкт-Петербург
Контактная информация:

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение donvictorio »

там же на него попадают частички металла и оно становится непрозрачным? или они как-то хреначат как фонарик и по сторонам не расходятся?
aftaev
Зачётный участник
Зачётный участник
Сообщения: 34042
Зарегистрирован: 04 апр 2010, 19:22
Репутация: 6192
Откуда: Казахстан.
Контактная информация:

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение aftaev »

donvictorio писал(а):там же на него попадают частички металла и оно становится непрозрачным?
Это ты про окошки в нашей установке? Я думал тебе на окошки дома нужно защитить что то :)
donvictorio писал(а):или они как-то хреначат как фонарик и по сторонам не расходятся?
Стекла загаживаются Снимаются и протираются. Брат их чем то отмыл, он у нас главный повелитель химии. Мож в кислоту кинул и металл растворился :)

Мы свою установку вакуумировали, на форнасосе до 26Па дошли. Выключили, через час натекло до 300Па. Через пару дней оторвать купол нельзя было - был вакуум.
Дилетанту сложные вещи кажутся очень простыми, и только профессионал понимает насколько сложна самая простая вещь
Кто хочет - ищет возможности, кто не хочет - ищет оправдание.
Найди работу по душе и тебе не придется работать.
Аватара пользователя
CybSys
Почётный участник
Почётный участник
Сообщения: 480
Зарегистрирован: 07 июн 2013, 10:02
Репутация: 121
Откуда: Иваново
Контактная информация:

Re: Установка магнетронного напыления пленок металлов

Сообщение CybSys »

Q-starь писал(а):Для магнетрона надо около киловольта и стабилизированный регулируемый по току, либо по мощности исходя из задачи, а плазмой чо делать собираетесь? И чья она будет?
Отвечу так:
Чья плазма бывает и что она делает в магнетронном напылении?

Мне бы добиться 100Па под колпаком, но пока померить не чем... думаю скоро и этим вопросом займусь :)
Ответить

Вернуться в «Прочие станки»