Установка магнетронного напыления пленок металлов

[aftaev]

Сейчас получили готовый такой прибор. У него двойной сенсор.
https://www.youtube.com/watch?v=hrZwKTwS9cs

[CybSys]

Двойной сенсор - это как? А то из видео мало что понял. Цифры прибор показывает не многим лучше моего кривенького прибора на ардуино, и то надо прошивку допилить...

[aftaev]

Вакуум измерять одним прибором, это как штангельциркулем измерять от микронов до километра. У каждого прибора свой диапазон.
Вот там два сенсора Пирани и пьезо. Каждый измеряет свой диапазон. Стр. 25 http://www.teledyne-hi.com/resourcecent ... Manual.pdf
То что ты собрал на Ардуино, это Пирани https://en.wikipedia.org/wiki/Pirani_gauge.

Есть такие датчики которые если включить на воздухе - они сдохнут. Потому вакуумметры включают их по очереди. Когда откачали атмосферу до заданного предела, вакуумметр включает другой сенсор и так ступеньками.

[CybSys]

аааа, ну понятно, до низкого вакуума измеряем например ПМТ-2, а средний уже другой лампой.
В принципе это припоминаю из из курса по Технике Высокого Вакуума (ТВВ)
Многих нюансов конечно же не помню...

[Q-starь]

Ну чо нагородили та! Пирани - это как раз ПМТ-6-3 а ПМТ-2 ( 4 ) - это термопарный, а включать на атмосфере нельзя ПМИ-2 ( 51 ), хотя ПМИ-51 терпит деревянного оператора, который забывает отключить вакуумметр перед напуском атмосферы, правда не долго. Есть ещё ПМИ-10-2, но она для магнетрона бестолковая, штоли, короче , не прижилась у нас, да и фик их найдёшь.

[CybSys]

Вакуумметр оформил в статью:

https://geektimes.ru/post/292839/

[Q-starь]

CybSys, из описалова не понял как лампу калибровали. Регулировать ток накала - это понятно, значение тока от келева взяли? У этого типа ламп разброс от 70 до 150 мА ( у меня на практике было от 90 до 130 это точно ) к тому же при старении лампы ток убегает и довольно сильно, я раз в полгода лампы перекалибровавал. Если на лампе с рабочим током в 90 поставить 130 - она реально будет килограммы показывать.
А за вакуумметр несомненный плюсик.

[N1X]

Вакуумметр оформил в статью

Ксати, вот из статьи:

Так как регулятор при наименьшем своем значении напряжения давал сильно большое значение по току, то и пришлось использовать резистор.

А почему не нормальный источник тока?

[CybSys]

CybSys, из описалова не понял как лампу калибровали. Регулировать ток накала - это понятно, значение тока от келева взяли? У этого типа ламп разброс от 70 до 150 мА ( у меня на практике было от 90 до 130 это точно ) к тому же при старении лампы ток убегает и довольно сильно, я раз в полгода лампы перекалибровавал. Если на лампе с рабочим током в 90 поставить 130 - она реально будет килограммы показывать.
А за вакуумметр несомненный плюсик.

Спасибо!
Лампа ПМТ-2 достаточно грубый измеритель давления... Заточены под ВИТ. Калибруется в запаянном состоянии. Ток накала подбирается по шкале ВИТ - 100 делений - ток накала.
После лампа отпаивается (срезается, она как ампула), пииваривается в вакуумную систему.

[Q-starь]

Спасибо!
Лампа ПМТ-2 достаточно грубый измеритель давления... Заточены под ВИТ. Калибруется в запаянном состоянии. Ток накала подбирается по шкале ВИТ - 100 делений - ток накала.
После лампа отпаивается (срезается, она как ампула), пииваривается в вакуумную систему.

Паспортные 30% это для вакуума этих степеней не очень грубо, а вот то что она очень инерционная это большой минус, особенно в течеисканиях и аварийных ситуациях - пока оператор поймёт что что то происходит - уже тю-тю. Лично для меня Пирани предпочтительнее, это если ПМИ нет.
По калибровке - всё верно, опять же повторюсь - ПМТ сильно дрейфует от выработки и грязи, надо перекалибровывать.

[aftaev]

Q-starь, в Атырау есть вакуумные установки?

[Q-starь]

aftaev, а хто ево знает, я там ни разу не был.

[CybSys]

Раз уж тут тема про плазму, то может кому то будет интересны небольшие опыты с высоковольтными электрическими разрядами (в основном горит тлеющий разряд):

https://www.youtube.com/watch?v=W1gdk0q5auo

https://www.youtube.com/watch?v=60HhvA998Nc

[Serg]

http://www.cnc-club.ru/forum/viewtopic. ... 04#p372904

[N1X]

В воздухе ВЧ дуга так же горит, так "если не видно разницы..."

[CybSys]

http://www.cnc-club.ru/forum/viewtopic. ... 04#p372904

Прошу прощения за тавтологию, второй ролик уже выкладывал

В воздухе ВЧ дуга так же горит, так "если не видно разницы..."

На глаз много чего не видно, это же научные эксперименты... разряды изучаются, развивается их применимость и т.д. помимо сварки, резки и магнетронного напыление, существует очень большой круг применения плазмы и разрядов, разновидностей которой так же очень много, и дуговой разряд один из них, но далеко не основной...

[aftaev]

CybSys, скажи проще - когда термоядерный синтез сделаешь уже?

[CybSys]

Термоядерный синтез немного не в нашей области изучения, так как это высоко энергетическая система создающая высочайшие температуры. Мы же создаем, изучаем, применяем низкотемпературную плазму (тлеющий разряд - собственно который мы и получаем генерируя его для магнетронного напыления), электрические характеристики которой не доходят до дугового разряда, название которого все так часто применяют когда видят электрический разряд...

[N1X]

Ну а че, если видет шнур это уже дуга, не? Или между тлеющим и дуговым есть еще что-то?

[CybSys]

Какой шнур ведет?
После тлеющего идет дуговой, вы правы. Но вот до тлеющего еще есть: искровой, коронный, барьерный и еще несколько, но я в них могу ошибаться так как они "как бы есть, но их нет"