Установка магнетронного напыления пленок металлов

[aftaev]

Камеру снаружи поливаем гелием, не целиком а подозрительные места обдуваем легонько из шланчика.

Вон оно как хитро задумано

[CybSys]

Немного переделал магнетронную систему, так как была теч между корпусом магнетрона и мишенью. После включения, вакуум лучше не стал, полил мыльным раствором на текстолит и в месте сопряжения его с магнетроном. хотя это место и проклеено эпоксидкой, как оказалось там тоже была теч. Пришлось заново пролить эти места эпоксидкой. Через сутки решил попробовать, включил насос и буквально после нескольких секунд откачки эпоксидка треснула в двух местах)
В общем данный тип "клея" для таких вещей или в частности для моей конструкции не подходит.

[Q-starь]

Ну ка общее фото покрупнее, похоже ты ваще не то делаешь. Текстолит это дно камеры штоль? Если да, то конструкция мёртворождённая.

[Rom327]

Всем привет!
Есть необходимость напыления металла (алюминий) на пленку ПВДФ 100 микрон. Территориально в Москве. Есть ли у кого информация по данному вопросу?

[Q-starь]

Всем привет!
Есть необходимость напыления металла (алюминий) на пленку ПВДФ 100 микрон. Территориально в Москве. Есть ли у кого информация по данному вопросу?

Размеры? рулон или лист? Лучше на вакуумном Чипе спрашивать.

[Rom327]

Всем привет!
Есть необходимость напыления металла (алюминий) на пленку ПВДФ 100 микрон. Территориально в Москве. Есть ли у кого информация по данному вопросу?

Размеры? рулон или лист? Лучше на вакуумном Чипе спрашивать.

Что такое "вакуумный Чип"? Пока планируется лента 100 мм шириной...

[aftaev]

Что такое "вакуумный Чип"?

http://www.chipmaker.ru/forum/185/

[CybSys]

Приехала система охлаждения для магнетрона, но до нее еще ой как далеко.

И еще накупил герметиков... Кто каким пользовался для герметизации вакуумных систем?

[Сергей Саныч]

И еще накупил герметиков... Кто каким пользовался для герметизации вакуумных систем?

Не спец по вакуумным системам, но ПМСМ, для вакуума "технического" уровня (всё, что ниже атмосферного давления - считается за вакуум) любой из показанных подойдет.
А для "физического" вакуума (это когда средняя длина пробега молекулы соизмерима с размерами сосуда) - боюсь, что никакой. Все газить будут.

[Q-starь]

Приехала система охлаждения для магнетрона, но до нее еще ой как далеко.

IMG_4046.JPG

IMG_4047.JPG

И еще накупил герметиков... Кто каким пользовался для герметизации вакуумных систем?

IMG_4048.JPG

С охлаждением не совсем понятно, проточной воды нет что ли?
Герметики? Чур меня!

[Q-starь]

Что такое "вакуумный Чип"? Пока планируется лента 100 мм шириной...

В Москве есть Игорь "Оптон", пылит люминь. На Чипе давно его не вижу, но вот его сайт: http://xn--h1adl0ba3d.xn--p1ai/ , свяжитесь, может он наколочку даст...

[CybSys]

Зачем лишние отводы из шлангов, установка мобильная и компактная, другое дело промышленные и полупромышленные...
Что касается герметиков, то их применение мне подсказали, и как мне думается вполне себе люди разбирающиеся в вакуумном вопросе.

[Serg]

Что касается герметиков, то их применение мне подсказали, и как мне думается вполне себе люди разбирающиеся в вакуумном вопросе.

Ну в пылесосе в некотором роде тоже вакуум...

[CybSys]

Вот например один из комментариев к моему видео об установке:

Добрый день!
Занимаюсь схожими вещами и хотелось бы высказать своё мнение по вакуумной части. Ибо все беды у вас, скорее всего, из-за насоса и уплотнений.
А) Для метода плазменного напыления признано использовать вакуумную систему с двумя насосами. Первый - поддерживающий, он же форвакуумный (как у вас, но только промышленный двухкамерный - в отличии от китайского однокамерного он может работать продолжительно и создавать разряжение с остаточным давлением до 0,2 Па реально ). У меня есть одностадийный китаец у которого по паспорту предельное разряжение соответствует остаточному давлению 5 Па, а в реальности пляшет от 100 до 1500 Па. Был перебран на коленке, заменено масло и теперь откачивает до 20-30 Па по образцовому вакуумметру, что для китайцев предел мечтаний. После могу рассказать что и как быстро можно устранить. Второй насос устанавливается последовательно с форвакуумным - я думаю вы это уже могли везде прочитать. Второй обычно маслянный диффузионный, либо более дорогой вариант - турбомоллекулярный. Комбинация двух насосов даёт остаточное давление (для относительно небольших объёмов) 0,01...0,0001 Па в зависимости от типа и производительности второго высоковакуумного и первого поддерживающего, а так же от их подбора и конструкции магистрали.
Б) По магистрали. Должна быть абсолютно сухой. Все соединения неразъёмные садятся не на клей, а на анаэробный герметик (можно автомобильный термостойкий). Все разъёмные соединения и краны перемазываются высоковязкой силиконовой вакуумной смазкой. При отсутствии можно использовать дешёвый аналог - консистентную силиконовую смазку для аквариумных фильтров - проверено при комнатной температуре держит остаточное давление в 0,1 Па перкрасно (если без нагрева). Сечение всех шлангов и переходников в магистрали необходимо увеличить минимум до 10 мм - связано не только со скоростью откачки, но и с пердельно возможным разряжением для проходного сечения - без шуток. Магистраль должна быть максимально короткой. Резинку под колпаком тоже смазать вакуумной смазкой или использовать силиконовую.
В) Цвет вашего масла наводит на мысль о его существенной окисленности либо влажности. Оказывается масло - маслу рознь. При переборке насоса замените в любом случае.
Если интересно - напишите в личку или просканируйте Ютуб/Гугл - информации по приведению в чувства вакуумных насосов хватает.
Удачи вам в таком интересном деле!
П.С.: Встречал работы и по напылению в форвакууме, так что у вас всё должно плучится! Нужна только защитная атмосфера - продувка аргоном - тем более что аргон перкрасно ведёт себя в плазме (его и используют).

Думаю что вполне заслуживает внимания. Или нет?

[Rom327]

Что такое "вакуумный Чип"? Пока планируется лента 100 мм шириной...

В Москве есть Игорь "Оптон", пылит люминь. На Чипе давно его не вижу, но вот его сайт: http://xn--h1adl0ba3d.xn--p1ai/ , свяжитесь, может он наколочку даст...

Спасибо, попробую связаться!

[Q-starь]

CybSys,Мобильная? По деревням что ли решили разъезжать? Ваще ни панятна. Ну да бог с ним - охлаждением, это дело десятое, для опытов вообще можно не охлаждать, это смотря какая толщина мишени.
По комментарию моё субьективное мнение : это написано не языком вакуумщика , хотя сейчас всяких грамотеев полно, например масло "окисленное" и "влажное" - совсем два разных компота, в вашем форе "окисленного" в принципе быть не может, его "готовят" в дифах начинающие неопытные операторы из масел типа ВМ-1, ВМ-5, либо буржуйских аналогов.
В общем вся ваша затея пока это для удовлетворения собственного любопытства, а не для получения какого нибудь приемлимого результата. В своё время, на спор, я напылял люминевое зеркало на "установке" собранной за полдня из бочки от стиралки, сварочного аппарата и безродного компрессора типа ЗИФа, включенного задом на перёд.В этом деле главное не железо, а осознание того как и что должно происходить внутри.
Один дельный совет в комменте - это протирать маслом резинку колпака, и делать это надо без фанатизма и не всяким маслом, а каким нибудь с низкими парами типа ПФМС или тем же ВМ-1.

[ZL0]

мобильная и компактная

Вас одни углеводороды заемучают, если на нужный вакуум выйдете. Герметики - ну раз хочется...

[CybSys]

мобильная и компактная

Вас одни углеводороды заемучают, если на нужный вакуум выйдете. Герметики - ну раз хочется...

До нужного вакуум еще добраться надо...

Давно по этой теме не было новостей, дали мне тут насос поиграться:

https://www.youtube.com/watch?v=yVkOESWvdvU

И немного всяких испытаний:

https://www.youtube.com/watch?v=nS0hiIMS-n4

https://www.youtube.com/watch?v=CMMT1D9cCsk

https://www.youtube.com/watch?v=8XUabPd_RqQ

https://www.youtube.com/watch?v=FrWsZsb1ANo

[aftaev]

Больше похоже на дуговые разряды, а не на плазму Из-за красного колпака ничего не понятно какого цвета плазма.

[CybSys]

Разряд, точно не дуговой, а тлеющий
Согласен, красный колпак сильно ограничивает видимость и "снижает" цветопередачу, особенно при съёмке.