Вон оно как хитро задуманоQ-starь писал(а):Камеру снаружи поливаем гелием, не целиком а подозрительные места обдуваем легонько из шланчика.
![Smile :)](./images/smilies/icon_e_smile.gif)
Вон оно как хитро задуманоQ-starь писал(а):Камеру снаружи поливаем гелием, не целиком а подозрительные места обдуваем легонько из шланчика.
Размеры? рулон или лист? Лучше на вакуумном Чипе спрашивать.Rom327 писал(а):Всем привет!
Есть необходимость напыления металла (алюминий) на пленку ПВДФ 100 микрон. Территориально в Москве. Есть ли у кого информация по данному вопросу?
Что такое "вакуумный Чип"? Пока планируется лента 100 мм шириной...Q-starь писал(а):Размеры? рулон или лист? Лучше на вакуумном Чипе спрашивать.Rom327 писал(а):Всем привет!
Есть необходимость напыления металла (алюминий) на пленку ПВДФ 100 микрон. Территориально в Москве. Есть ли у кого информация по данному вопросу?
http://www.chipmaker.ru/forum/185/Rom327 писал(а):Что такое "вакуумный Чип"?
Не спец по вакуумным системам, но ПМСМ, для вакуума "технического" уровня (всё, что ниже атмосферного давления - считается за вакуум) любой из показанных подойдет.CybSys писал(а):И еще накупил герметиков... Кто каким пользовался для герметизации вакуумных систем?
С охлаждением не совсем понятно, проточной воды нет что ли?CybSys писал(а):Приехала система охлаждения для магнетрона, но до нее еще ой как далеко.
И еще накупил герметиков... Кто каким пользовался для герметизации вакуумных систем?
В Москве есть Игорь "Оптон", пылит люминь. На Чипе давно его не вижу, но вот его сайт: http://xn--h1adl0ba3d.xn--p1ai/ , свяжитесь, может он наколочку даст...Rom327 писал(а): Что такое "вакуумный Чип"? Пока планируется лента 100 мм шириной...
Ну в пылесосе в некотором роде тоже вакуум...CybSys писал(а):Что касается герметиков, то их применение мне подсказали, и как мне думается вполне себе люди разбирающиеся в вакуумном вопросе.
Думаю что вполне заслуживает внимания. Или нет?Добрый день!
Занимаюсь схожими вещами и хотелось бы высказать своё мнение по вакуумной части. Ибо все беды у вас, скорее всего, из-за насоса и уплотнений.
А) Для метода плазменного напыления признано использовать вакуумную систему с двумя насосами. Первый - поддерживающий, он же форвакуумный (как у вас, но только промышленный двухкамерный - в отличии от китайского однокамерного он может работать продолжительно и создавать разряжение с остаточным давлением до 0,2 Па реально ). У меня есть одностадийный китаец у которого по паспорту предельное разряжение соответствует остаточному давлению 5 Па, а в реальности пляшет от 100 до 1500 Па. Был перебран на коленке, заменено масло и теперь откачивает до 20-30 Па по образцовому вакуумметру, что для китайцев предел мечтаний. После могу рассказать что и как быстро можно устранить. Второй насос устанавливается последовательно с форвакуумным - я думаю вы это уже могли везде прочитать. Второй обычно маслянный диффузионный, либо более дорогой вариант - турбомоллекулярный. Комбинация двух насосов даёт остаточное давление (для относительно небольших объёмов) 0,01...0,0001 Па в зависимости от типа и производительности второго высоковакуумного и первого поддерживающего, а так же от их подбора и конструкции магистрали.
Б) По магистрали. Должна быть абсолютно сухой. Все соединения неразъёмные садятся не на клей, а на анаэробный герметик (можно автомобильный термостойкий). Все разъёмные соединения и краны перемазываются высоковязкой силиконовой вакуумной смазкой. При отсутствии можно использовать дешёвый аналог - консистентную силиконовую смазку для аквариумных фильтров - проверено при комнатной температуре держит остаточное давление в 0,1 Па перкрасно (если без нагрева). Сечение всех шлангов и переходников в магистрали необходимо увеличить минимум до 10 мм - связано не только со скоростью откачки, но и с пердельно возможным разряжением для проходного сечения - без шуток. Магистраль должна быть максимально короткой. Резинку под колпаком тоже смазать вакуумной смазкой или использовать силиконовую.
В) Цвет вашего масла наводит на мысль о его существенной окисленности либо влажности. Оказывается масло - маслу рознь. При переборке насоса замените в любом случае.
Если интересно - напишите в личку или просканируйте Ютуб/Гугл - информации по приведению в чувства вакуумных насосов хватает.
Удачи вам в таком интересном деле!
П.С.: Встречал работы и по напылению в форвакууме, так что у вас всё должно плучится! Нужна только защитная атмосфера - продувка аргоном - тем более что аргон перкрасно ведёт себя в плазме (его и используют).
Спасибо, попробую связаться!Q-starь писал(а):В Москве есть Игорь "Оптон", пылит люминь. На Чипе давно его не вижу, но вот его сайт: http://xn--h1adl0ba3d.xn--p1ai/ , свяжитесь, может он наколочку даст...Rom327 писал(а): Что такое "вакуумный Чип"? Пока планируется лента 100 мм шириной...
Вас одни углеводороды заемучают, если на нужный вакуум выйдете. Герметики - ну раз хочется...CybSys писал(а):мобильная и компактная
До нужного вакуум еще добраться надо...ZL0 писал(а):Вас одни углеводороды заемучают, если на нужный вакуум выйдете. Герметики - ну раз хочется...CybSys писал(а):мобильная и компактная